理學ZSX PrimusIII+波長色散X射線熒光光譜儀在MLCC中的應用

在鈦酸鋇生產(chǎn)過程中，非常重要指標：鋇鈦摩爾比，簡稱鋇鈦比。鋇鈦比直接影響鈦酸鋇的四方度，進而影響鈦酸鋇的介電常數(shù)和絕緣電阻。對于高質(zhì)量的鈦酸鋇粉體，鋇鈦比的控制精度要求較高，一般控制精度要求小于0.001。通常是用化學滴定法檢測出BaTiO₃中BaO和TiO₂的含量，就可計算Ba/Ti的摩爾比。但化學滴定法的精確程度只有0.002左右，且操作人員和環(huán)境對誤差的影響大，不能滿足鈦酸鋇中Ba/Ti摩爾比的要求。也可借助儀器設備(如ICP-OES)精確測量Ba和Ti的元素含量，再計算Ba/Ti摩爾比。ICP測微量元素準確的測試設備，但需把樣品制備成液體，前處理需稀釋幾百上千倍，這過程易操帶來作誤差，且費時費力，不能滿足用戶時效性。

X射線熒光光譜分析技術擁有高精密度、高準確性、制樣簡單、可一次性報出所需目標元素的結(jié)果，是解決以上難題的最jia選擇，被越來越多的MLCC企業(yè)所采用。該方法的理論檢測精度達到0.0001-0.0003，wan全滿足鈦酸鋇檢測的要求。

日本電子材料工業(yè)協(xié)會標準規(guī)格（EMAS）對鈦酸鋇的Ba/Ti摩爾比標準如下：

EMAS-4202

采用玻璃熔片法進行鈦酸鋇的Ba/Ti摩爾比的熒光X射線分析法

EMAS-4203

采用壓片法進行鈦酸鋇的Ba/Ti摩爾比的熒光X射線分析法

在EMAS行業(yè)標準制定中，共有15家鈦酸鋇生產(chǎn)廠家參與制定。其中，13家使用的是理學的設備對鈦酸鋇中Ba/Ti摩爾比檢測，其檢測精度都在千分之一以下，能滿足企業(yè)對高質(zhì)量的鈦酸鋇粉體中Ba/Ti摩爾比控制要求。

理學公司的X射線熒光光譜儀掃描道ZSX Primus III+對鈦酸鋇粉末質(zhì)量管理，其鈦鋇比標準偏差（摩爾比）～10^-4。根據(jù)實測結(jié)果，ZSX Primus III+的精度在0.0002~0.0003。